泰州网,泰州新闻,泰州房产,泰州论坛,0523,泰州汽车
标题:
谈谈高温氧烤箱在低介电常数BCB树脂的固化工艺中的操作方法
[打印本页]
作者:
搞风又搞雨
时间:
2024-4-3 10:34
标题:
谈谈高温氧烤箱在低介电常数BCB树脂的固化工艺中的操作方法
低介电常数BCB树脂的固化方法,具体步骤如下:
1:在半导体芯片表面涂覆一层粘附剂;
2:通过旋转方式在半导体芯片表面的粘附剂上涂覆一层液态BCB树脂,接着将涂覆好BCB树脂的半导体芯片放入高温氧烤箱中,并通入氮气保护;
3:加热高温氧烤箱,使涂覆BCB树脂的半导体芯片达到一首温度,稳定一段时间,使BCB树脂中的溶剂分布均匀;
4:再将加热氧烤箱升高到一第二温度,稳定一段时间,使BCB树脂中的溶剂充分挥发;
5:再将加热氧烤箱升高至一第温度,稳定一段时间,在半导体芯片表面形成低介电常数的树脂薄膜;
6:高温氧烤箱降温至100度以下;
7:关氮气,取出产,完成固化工艺。
据相关报道,
氮气烘箱
在很大一部分程度上引领着市场行情的变化。上海隽思实验仪器有限公司拥有多台先进的专业生产设备,公司是一个专注多年热处理设备、仪器设备的生产厂家,拥有高尖端的技术人才,高素质的工作团队,丰富的生产经验。http://www.junsicn.com/
欢迎光临 泰州网,泰州新闻,泰州房产,泰州论坛,0523,泰州汽车 (http://www.0523.ac.cn/)
Powered by Discuz! X3.2